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在一些集成电路的精密机械车间中，对于无尘车间的洁净程度更加严格。甚至空气中的温度是需要控制在正负不超过二摄氏度的范围，原因在于集成电路的零部件极1小，微小的温差极可能带来零部件的膨胀或者收缩，直接影响到成品率。
因此无尘车间前需要建设一定面积的缓冲区域，在人员、设备和物料进入无尘车间之前需要先在缓冲区域进行初步的清洁，保证其上含有的污染物被清除，不会对车间内的环境造成负1面的影响。这种缓冲区域称之为风淋车间。
无尘车间硬件设施的维护管理
1.无尘车间保持适当的正压(> 0.5mmAq)，防止洁净系统漏风。人员、设备和原材料进入无尘车间前，应做好清洁、擦拭等防尘工作，并妥善管理和设置空气过滤器。
2.防止室内粉尘产生:注意无尘车间材料的正确选择，如隔板和地板；制造设备的防尘、生产自动化和人员不聚集、清洁服装的管理、无尘车间设备的使用等。
3.室内灰尘不堆积:墙体应光滑无死角，无尘车间应定期维护和清洁，工艺设备周围应留有空间。
4.发生尘埃立即排除。
净化车间1主要之作用是控制产品（如硅芯片等）所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例，无尘车间净 化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当 然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负1面影响，所以在光 学构造产品的生产上，净化车间无尘是必然的要求。
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